近日，业内传出消息称，全球最大的光刻机供应商、全球唯一的EUV（极紫外线）光刻机供应商荷兰ASML因担心刺激到美国，所以停止了向中芯国际交付其去年订购的EUV光刻机。随后业内不少媒体纷纷报道称，ASML断供中芯国际。

资料显示，中国最大的晶圆代工厂中芯国际（SMIC）于2018年4月向ASML采购了一台当时最先进的EUV光刻机，价值约1.2亿美元。根据原定计划，设备本来应该于2019年底交付，到2020年中期完成安装。而EUV光刻机则是制造7nm及以下更为先进的半导体制程工艺的关键。这也是ASML首次向中国公司出售其最先进的EUV光刻机。

据《日经新闻》报道，ASML已决定暂时中止向中芯国际交付EUV光刻机，而原因则可能是“担心刺激到美国”。报道称，ASML之所以采取这一举动，是因为美国仔细审查了中国技术供应链中的所有主要公司，例如全球最大的芯片制造商台湾台积电，该公司向华为提供芯片。

另据一位了解ASML的消息人士说：“ ASML目前决定推迟EUV设备的交付，是因为现在就将最先进的芯片设备运往中国，会让美国政府感到不安。”不过，消息人士也补充说：“ASML不想让中国及其中国客户感到不安（因为延误），因为那是其增长最快的（技术）市场。”这位知情人士说，原定于2019年底交付，到2020年中期完成安装。

资料显示，ASML销售额的大约16%来自美国，而其销售额的19%则来自中国。

对于网上的各种传闻，ASML公司很快做出了澄清。

ASML公司表示：关于日经新闻昨日报导，其标题和内容呈现造成误导，本公司在此提出澄清。我司不对任何客户做comment。对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，因此，“延迟出货”仅为媒体推测。对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。ASML一向在遵守相关国际法规的前提下一视同仁地服务全球客户。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。因此，关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的，ASML系遵循法规行事。

此外，中芯国际昨天也回应称，“EUV还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”

目前尚不清楚是ASML推迟向中国中芯国际发货的原因是由于美国当局的直接或间接压力，还是真的只是因为ASML也在寻求荷兰政府的新出口许可证。不过，可以肯定的是，ASML如果真的大幅推迟，甚至停止向中芯国际交付EUV光刻机，无疑将对中芯国际后续先进制程的研发造成负面影响。

编辑：芯智讯-林子